Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik

Autor : Ulrich Hilleringmann
Geschlecht : Bücher, Fachbücher, Ingenieurwissenschaften,
lesen : 6396
Herunterladen : 5330
Dateigröße : 35.42 MB
Format : PDF, ePub

Nimm dieses Buch

Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik

Buchrückseite Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.Der InhaltHerstellung von SiliziumscheibenOxidation des dotierten SiliziumsLithografie ÄtztechnikDotiertechnikenDepositionsverfahrenMetallisierung und KontakteScheibenreinigungMOS-Technologien zur SchaltungsintegrationErweiterungen zur HöchstintegrationBipolar-TechnologieMontage integrierter SchaltungenDie ZielgruppenStudierende der Fachrichtungen Elektronik, Elektrotechnik, Mikrosystemtechnik, Informatik und PhysikProzessingenieure aus der Halbleiterfertigung, Mikrotechnologen und SchaltungsentwicklerDer AutorProf. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik. Über den Autor und weitere Mitwirkende Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Mein Weg Als Deutscher Jude.

Mein Weg Als Deutscher Jude.

Autor : Julius H. Schoeps
Geschlecht : Bücher, Religion & Glaube, Judentum,
lesen : 2184
Herunterladen : 1820
Dateigröße : 12.10 MB
Peanuts Superlong - Kalender 2018

Peanuts Superlong - Kalender 2018

Autor : Charles M. Schulz
Geschlecht : Bücher, Comics & Mangas, Comics,
lesen : 2574
Herunterladen : 2145
Dateigröße : 14.26 MB
Palmyra: Requiem Für Eine Stadt

Palmyra: Requiem Für Eine Stadt

Autor : Paul Veyne
Geschlecht : Bücher, Schule & Lernen, Wissen nach Themen,
lesen : 2418
Herunterladen : 2015
Dateigröße : 13.39 MB